有半導體行業(yè)的朋友經(jīng)常會有這樣的疑問,高溫無氧烤箱的腔體是一個密閉的環(huán)境,那么當惰性氣體(如氮氣)充入一定量時,可以停止充入嗎?
下面旭騰科技為您解答這個問題。
我們的腔體確實是一個密閉的工作室,但是高溫無氧烤箱畢竟不是真空烤箱,會存在一定的漏氣,而且內(nèi)部要形成熱風循環(huán),同時要保證氧含量低于某個數(shù)值(一般都是很小),這時就必須要一直充入惰性氣體,以保證氧含量能夠維持平衡,一旦停止充入惰性氣體,就會造成氧含量超標,使產(chǎn)品氧化。